传统平坦化技术有哪三种

问题描述

精选答案

传统的平坦化技术有反刻、玻璃回流、旋涂膜层三种。

反刻：由表面图形形成的表面起伏可以用一层厚的介质或其它材料作为平坦化的牺牲层来进行平坦化，这一层牺牲材料填充空洞和表面的低处，然后用干法刻蚀技术来刻蚀这一层牺牲层，通过用比低处图形快的刻蚀速率刻蚀掉高处的图形来使表面平坦化。玻璃回流：在升高温度的情况下给惨杂氧化硅加热，使它发生流动。旋涂膜层：在硅片上旋涂不同的液体材料以获得平坦化的一种技术，主要是层间介质。

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传统的化方法有：反刻，玻璃回流和旋涂膜层三种。