ltis是什么意

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精选答案

LTIS是Low Temperature Ion Source的缩写，意为低温离子源。

LTIS是一种用于产生离子束的设备，常用于离子束刻蚀、离子束沉积和离子束辅助蚀刻等应用中。通过控制气体和电场，LTIS可以在低温下产生高能量的离子束，从而实现对材料表面的精确加工和改性。