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以半导体材料为敏感元件的传感器

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问题更新日期:2024-10-10 16:48:46

问题描述

以半导体材料为敏感元件的传感器求高手给解答
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半导体气敏传感器有多种分类方法,主要一种是将其分为两类—电导控制型气敏传感器和电压控制气敏传感器。

其中电导控制型一般以金属氧化物半导体材料如SnO、ZnO、FeO系为基体,加入合适的催化金属和添加剂,采用烧结、厚膜或薄膜工艺制成。