真空泵的有哪些分类

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精选答案

真空泵有机械泵、分子泵、扩散泵、栅栏腔离子泵以及反应型蒸发系、物理气相沉积装置等这些泵分类主要是根据 不同泵的工作原理、气体种类和抽气速率等因素所归纳分类而来的对于不同的真空泵类型，需要注意其设计工作原理和使用范围，选用适当的泵能够提高在不同工况下的真空度或者抽气效率