半导体ovl什么意思

问题描述

精选答案

半导体ovl，指套刻精度，是测量一个光刻图案置于基片时与先前已定义过的图案之间的对准精度。

由于半导体器件是由多层材料堆叠而成，因此必须保证每一层与前层的对准精度，在每一层的制造过程中，要对其与前层的对准精度进行测量。

目前常用的套刻精度量测图形为光学式，aim图形通常包括两种周期性结构，一种周期性结构位于前层，为参考层图形，另一种周期性结构位于当层，为当层图形，通过计算两种周期性结构的位置变化得到套刻偏移量，从而得到当层相对于参考层(前层)的套刻精度。