单晶炉干泵对单晶有什么影响
问题更新日期：2024-10-10 18:08:02
问题描述
单晶炉干泵对单晶有什么影响求高手给解答
- 精选答案
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单晶炉干泵，是一种用来抽气的泵，此种泵不用油，还有油泵，是一种使用泵油的抽气泵。单晶炉的排气对于拉晶至关重要，所以要再保证排气通畅的情况下对抽出的气体进行过滤，防止更多的杂质进入到单晶炉配备的真空泵内，对于单晶炉配备的真空泵有干式的干泵，还有油泵，无论是哪种泵体，都要保证杂质
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