什么是MEMS陀螺仪技术

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精选答案

MEMS陀螺仪即硅微机电陀螺仪，绝大多数的MEMS陀螺仪依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。mems陀螺仪的特点:MEMS陀螺仪是利用 coriolis 定理，将旋转物体的角速度转换成与角速度成正比的直流电压信号，其核心部件通过掺杂技术、光刻技术、腐蚀技术、LIGA技术、封装技术等批量生产的，它主要特点是

1. 体积小、重量轻，其边长都小于 1mm，器件核心的重量仅为1.2mg。

2. 成本低

3. 可靠性好，工作寿命超过 10 万小时，能承受1000g 的冲击。

4. 测量范围大