光刻胶指标是什么

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精选答案

光刻胶指标是评价光刻胶性能的几个关键参数，包括分辨率、显影度、耐辐照量、粘附力等。

其中分辨率是指光刻胶能够实现的最小线宽或点尺寸，显影度是指显影过程中光刻胶被去除的程度，耐辐照量是指光刻胶能够承受的紫外线辐照量，粘附力是指光刻胶与底层材料的粘附程度。这些指标对于光刻制程的精度和可靠性至关重要，同时也是选择合适光刻胶的重要参考依据。