光掩膜玻璃基板分为几种

问题描述

精选答案

光掩膜玻璃基板可以细分为合成石英掩膜基板、硼硅玻璃掩膜基板和苏打玻璃（或钠钙玻璃）掩膜基板等。

其中合成石英掩膜基板，具备着良好的化学稳定性，较高的透光率及硬度，但市场价格较高，多用作IC、LSI、大型FPD、大型高精密光学器件的光掩膜版基材；

硼硅玻璃掩膜基板，是指在硼硅玻璃原片基础上，经过加工后制作硼硅玻璃空白掩膜基板，主要用作LSI用Copy mask基材；

而苏打玻璃掩膜基板，是指在钠钙玻璃原片基础上，经过加工后制作钠钙玻璃空白掩膜基板，市场价格相对较低，主要用作STN－LCD、TN－LCD、FED、EL行业的专用光学掩模版基材。

其中，合成石英和苏打玻璃掩膜基板是我国光掩膜玻璃基板的主要产品。