光学轮廓仪标定方法

问题描述

精选答案

光学轮廓仪标定的方法是

1.3D(三维)形貌校准。这一校准都和形貌测量的“高度”结果相关，所以称为三维校准。主要包括对干涉物镜参考面形貌误差的标定；以及使用标准台阶块对台阶高度测试精度校准。

2.2D(二维)光强校准。这一校准和成像视场范围内的“光强”信号相关。轮廓仪有一些功能，可以增强用户对样品表面观察效果。比如在某观测模式下，可以自动去除视场中黑白条纹，更清楚地观测表面纹理；真彩模式可以复现表面彩色信息。由于以上功能相关标定都只涉及“光强”，不涉及到形貌高度，所以称为二维光强校准。

3.横向校准。这一校准是为了标定在当前设置下，每个像素在横向上代表的尺寸大小。光学轮廓仪的很多测试结果和分析设置，如沟槽宽度，孔径尺寸，坡度斜率，空间滤波，拼接测量，都基于或和横向尺寸相关。对于这些结果和分析，横向尺寸的标定是至关重要的。