mos结构氧化层中有什么电荷

问题描述

精选答案

在MOS管中，跨导的大小反映了栅源电压对漏极电流的控制作用。在转移特性曲线上，跨导为曲线的斜率。

四种氧化层电荷

（1）固定氧化层电荷Qf 源于硅材料在热氧化过程中引入的缺陷

（2）可动电荷Qm 主要是SiO2种存在的K+，Na+,Li+等正离子引起的

（3）界面陷阱电荷Qit 起源于Si-SiO2界面的结构缺陷，氧化感生缺陷

（4）氧化层陷阱电荷Qot 被俘获的载流子来自X射线，r射线或电子束在氧化层引起的辐射电离，热载流子注入