东方晶源光刻机做到哪一步了

问题描述

精选答案

东方晶源光刻机做到了光源电子束检测这一步。

东方晶源就是我们国产光刻机产业链当中的其中一员，东方晶源所处的地带属于“缺陷检测”，属于光刻机配套设施中的重要一环。国内唯一做v光刻机的公司只有上海微电子一家，而像东方晶源、科益虹源、华卓精科等都是上海微电子的供应商。而东方晶源做的是对光刻机光源的缺陷检测。