阿斯迈极紫光刻机有哪几国技术

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精选答案

阿斯麦公司生产的极紫外光刻机，它的光源和控制软件来自美国，超精密机械及蔡司镜头来自德国，特殊复合材料和光学器材技术来自日本，轴承和阀件由瑞典和法国提供。