MOCVD用到衬底有哪些

问题描述

精选答案

金属有机化学气相沉积 (MOCVD) 中常用的衬底包括蓝宝石、GaAs、SiC 和 Si。

蓝宝石因其热稳定性、化学惰性和良好的电绝缘性能而成为常见的衬底；GaAs 用于制造半导体器件，特别是异质结构和光电器件；SiC 耐高温、耐腐蚀，用于制造功率电子器件；Si 是一种广泛使用的衬底，价格低廉且易于加工。