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MOCVD是什么设备

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问题更新日期:2024-10-11 08:35:41

问题描述

MOCVD是什么设备,在线求解答
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是金属有机化合物化学气相淀积(Metal-organic Chemical Vapor DePosition)的英文缩写。MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术.