外延片与晶圆片的区别

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精选答案

区别是半成品和成品的区别。

外延片就是在衬底上做好外延层的硅片，外延是半导体工艺当中的一种，硅片最底层是P型衬底硅（有的加点埋层）；然后在衬底上生长一层单晶硅，这层单晶硅称为外延层；再后来在外延层上注入基区、发射区等等。而晶圆片通常说经过光刻、蚀刻等工序形成的。所以外延片属于半成品，而晶圆属于成品。