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什么是氮化镓外延片

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问题更新日期:2024-10-11 09:05:59

问题描述

什么是氮化镓外延片,麻烦给回复
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氮化镓(GaN)外延片(Gallium Nitride (GaN)Epiwafers)是指在蓝宝石、硅、氮化硅和氮化镓等衬底上进行氮化镓外延。

氮化镓(GaN)作为第三代半导体核心材料之一,具有高击穿场强、高饱和电子漂移速率、抗辐射能力强和良好的化学稳定性等优良特性,是制作宽波谱、高功率、高效率光电子、电力电子和微电子的理想材料。外延片作为半导体原材料,位于半导体产业链上游,是半导体制造产业的支撑性行业。外延片制造商在衬底材料上通过CVD(Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积)设备、MBE(Molecular Beam Epitaxy,分子束外延)设备等进行晶体外延生长、制成外延片。