什么叫做光刻技术

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精选答案

光刻技术是指集成电路制造中利用光学- 化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。光刻技术成为一种精密的微细加工技术。