mo源是什么材料

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精选答案

MO源是一个金属化合物的简称,即高纯金属有机化合物是先进的金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属有机分子束外延(简称MOMBE)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料。