真空镀膜技术参数实例
问题更新日期：2024-10-11 11:00:32
问题描述
真空镀膜技术参数实例急求答案，帮忙回答下
- 精选答案
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离子蒸发沉积（可中频感应加热或电阻加热）如金属铍
磁控溅射待沉积靶材如钽铌等2.沉积方式连续缠绕走带式，即可连续生产。
3.带宽及及长度要求
可生产带宽200-250mm，可生产带长5-10m。
4.炉体真空度 5x10-5托
漏气率<1托╱3分钟
5.加热温度15000C(坩埚部分）
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