mos管栅极是多晶吗

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精选答案

mos管栅极是多晶的，半导体工业初期，金属铝被普遍用作MOS的首选栅材料。但后来多晶硅被认为是首选的栅材。下面讨论了两个主要原因是这种多晶硅转变的背后。

早期的MOS制备过程始于源区和漏区的定义和掺杂。然后，采用栅罩来定义栅氧化区，从而形成铝金属门。