刻蚀ito用什么气体

问题描述

精选答案

刻蚀ito用的气体是甲烷。

ITO 是通过真空磁控溅射镀膜工艺生产的一种材料。

透明导电膜屏蔽玻璃的导电膜层材料主要为ITO（铟锡氧化物半导体）膜、金属镀膜等，其特点是在150KHz~1GHz范围内有适宜的屏蔽效能，透光性较普通网栅材料屏蔽玻璃好很多，电阻率介于10- 3～10- 4 Ω·cm 之间,透光率可达到85%以上。