cvd反应器包括几部分
问题更新日期：2024-10-11 13:25:51
问题描述
cvd反应器包括几部分，麻烦给回复
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CVD外延反应器通常包括反应器腔室、气体源、排气系统、加热源 以及冷却系统。反应器腔室用作所需反应的受控环境。气体源提供反应 物以及净化气体；排气系统则在反应器腔室内维持大气压或真空压力下； 加热源可以是红外线灯或感应源的阵列，且其通常将能量传送至反应器 腔室以加热待处理的基板;冷却系统被导向腔室壁，以使其热膨胀或变 形最小化
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