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什么是多晶硅石英陶瓷坩埚

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问题更新日期:2024-10-11 14:41:31

问题描述

什么是多晶硅石英陶瓷坩埚求高手给解答
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全称为:高纯熔融石英陶瓷坩埚(二氧化硅含量≥99.9%)。

是以高纯熔融石英为原料做成的陶瓷质坩埚。一般情况下,其形状主要有方形和圆筒形。其中,方形的高纯石英坩埚用在多晶硅铸锭环节,充当多晶硅化料和长晶的容器;圆形的高纯石英坩埚则用在单晶硅中拉单晶的环节。高纯熔融石英由于具有结构精细、热导率低、热膨胀系数小、制成品尺寸精度高、高温不变形、热震稳定性好、电性能好、耐化学侵蚀性好等特点,因此在玻璃深加工行业、冶金工业、电子工业、化工工业、航空航天等领域得到广泛应用。