eds能谱检测元素含量，适用于哪些样品

问题描述

精选答案

这个问题不好说，看你有没有这个检测需求。

EDS主要检测无机成分在固体微观区域分布状态，定量研究无机元素分布均匀程度。一般使用无标样定量分析，主元素的定量精度较高，相对误差±2%范围内，微量及痕量元素相对误差很大. 使用高级的有标样定量分析，相对误差1%内。