真空电阻规原理
问题更新日期:2024-10-11 16:36:40
问题描述
真空电阻规原理求高手给解答
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电阻规(皮拉尼真空计)
工作原理:利用电阻的热传导物理性能———热丝通过电加热, 使其温度高于周围气体和管壳温度,于是在两者之间产生热传导, 当它们达到热平衡时,一旦压力变化,借助输出阻抗值、电压值等参数,再由模数转换,读出此刻真空度。鉴于皮拉尼真空计的测量范围是1×105 Pa~1×10-1 Pa,在设备中起过渡测量作用, 真正担任设备真空测量任务的是测量范围为1×10-1 Pa~1×10-5 Pa的热阴极电离真空计。
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