什么是单晶炉

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精选答案

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉的构成：

1、提拉头：主要由安装盘、减速机、籽晶腔、划线环、电机、磁流体、籽晶称重头、软波纹管等其他部件组成2、副室：主要是副室筒以及上下法兰组成3、炉盖：副室连接法兰、翻板阀、观察窗、抽真空管道组成4、炉筒：包括取光孔。

5、下炉筒：包括抽真空管道。

6、底座机架：全铸铁机架和底座。

7、坩埚下传动装置：主要由磁流体、电机、坩埚支撑轴、减速机、软波纹管、立柱、上下传动支撑架、导轨等部件组成。

8、分水器已经水路布置：包括分水器、进水水管、若干胶管、水管卡套等。

9、氩气管道布置：质量流量计、3根以上的柔性管、不锈钢管、3个压力探测器、高密封性卡套等部件。

10、真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵、水环真空泵、过滤器、真空管道、硬波纹管等。

11、电源以及电控柜：电源柜、滤波柜、控制柜、以及连接线。