光刻机之前的纳米参数是什么意思

问题描述

精选答案

是指光刻机的曝光系统 常见光源分为: 紫外光（UV），g线：436nm;i线：365nm 深紫外光（DUV）,KrF 准分子激光：248 nm, ArF 准分子激光：193 nm 极紫外光（EUV），10 ~ 15 nm