什么是湿法光刻

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精选答案

湿法光刻也叫浸入式湿法光刻工艺。

浸入式湿法光刻是指在光刻机投影镜头与半导体硅片之间用一种液体充满，从而获得更好分辩率及增大镜头的数值孔径，进而实现更小曝光尺寸的一种新型光刻技术。

2002年以前，业界普遍认为193nm光刻无法延伸到65nm技术节点，而157nm将成为主流技术。而193纳米浸入式的概念打破了这一桎梏，该波长在水中等效波长压缩到134纳米，所以193纳米浸入式湿法光刻技术成为光刻界追逐的焦点。