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分子泵极限能抽到多少帕

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问题更新日期:2024-10-12 00:28:49

问题描述

分子泵极限能抽到多少帕求高手给解答
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分子泵的极限真空度可以达到10^-11帕(10^-13毫米汞柱)。这是由于分子泵通过将气体分子从泵腔排出来,逐渐降低气体分子的密度,从而实现抽取高真空的效果。分子泵在高真空、极高真空领域有广泛应用,如电子显微镜、光谱仪器、半导体制造等。

其他回答

普通的机械真空泵能抽到百分之一真空。油扩散泵能抽到万分之一或十万分之一,分子泵还要更高。 低压真空泵分:水环式真空泵2000~4000pa