洁净室用什么气体

问题描述

精选答案

洁净室通常使用过滤和净化后的空气作为主要气体。洁净室内部的空气通过空调、过滤器和其他净化设备进行循环和过滤，以确保室内的空气质量符合特定要求。

洁净室还可能根据具体需求，调节温度、湿度和气压等参数。

在某些特定行业，如半导体、光电子、医药等，还可能使用氮气、氧气、氢气等特定气体，以满足特殊的工艺和设备要求。