pld材质是什么

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精选答案

PLD空薄膜材料制备系统是具有薄膜质量高，膜层和基底互扩散小等特点，用于制备金属膜及半导体薄膜等的系统。用于制备金属膜及半导体薄膜等。

主要特点薄膜质量高，膜层和基底互扩散小，具有磁控溅射靶及离子源，样品加热、自转、公转、转递，可用于制备金属膜、介质膜及半导体薄膜等。