扫描显微镜可以产生哪些信号，各用来获得物质的哪方面信息

问题描述

精选答案

对于形貌成像：主要信号是二次电子，背散射电子也有使用吸收电流成像，是比较特殊的应用，往往用于专门材料检测。

对于成分分布成像：背散射电子， 阴极荧光，元素特征X射线。扫描电镜的优点是，①有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；

②有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；

③试样制备简单。 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。