尼康和佳能光刻机能达到多少纳米

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精选答案

尼康和佳能光刻机能达到22纳米。

尼康和佳能的光刻机使用的是第四代光源技术，既193纳米深紫外光光源，但佳能和尼康当初走的是干法光刻技术，最终只能做到145纳米而停滞不前，同样一个时代的荷兰阿斯麦尔另辟蹊径用湿法光刻制作了浸润式光刻机，精度大大提高，所以走了弯路的尼康和佳能在技术上落后阿斯麦尔一整代。