什么是沟道效应如何避免沟道效应
问题更新日期：2024-10-12 07:11:55
问题描述
什么是沟道效应如何避免沟道效应急求答案，帮忙回答下
- 精选答案
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沟道效应：衬底为单晶材料，离子束准确的沿着晶格方向注入，几乎不会受到原子核的散射，其纵向分布峰值与高斯分布不同。一部分离子穿过较大距离。避免方法:1硅片偏转一定角度注入 2使用质量较大的原子注入 3大剂量注入（形成非晶层）
4隔介质膜注入
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