二氧化硅光学薄膜制备方法

问题描述

精选答案

（1）蒸镀法。主要由磁控溅射、分子束外延等方法；

（2）旋涂法，就是将溶胶等通过旋涂的方法制备薄膜；

（3）化学法。比如采用表面氧化的方法可以制备氧化物薄膜等。

合金薄膜压力传感器是采用近代薄膜技术制造而成的，利用离子束溅射技术在弹性体上淀积薄膜应变电阻，取代了一般金属传感器中的粘贴工艺， 消除了胶层引起的蠕变、老化等缺陷。产品具有精度高、性能稳定、温漂小、可靠性高等优点，填补了该类产品在高温领域应用的国内空白。