什么叫做光阻

问题描述

精选答案

光阻是一种在光刻工艺中使用的材料，用于制作微电子器件和集成电路中的图案。它通常是一种光敏性的聚合物或树脂，可以通过光刻过程中的曝光和显影来形成所需的图案。

光阻在曝光后会发生化学反应，使得其在显影过程中被溶解或去除，从而在半导体材料或基板上形成所需的图案。光阻在微电子工艺中起到了保护、传输光能和定义器件结构的重要作用。