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BM是光阻还是光罩

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问题更新日期:2024-10-12 13:17:01

问题描述

BM是光阻还是光罩希望能解答下
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BM既不是光阻也不是光罩。BM是遮蔽层,是在光刻工艺中用于保护某些区域不被曝光的阻挡层。光阻是一种对光敏感的材料,在暴露于光线下会发生化学变化,从而可以被选择性地去除,从而在光刻胶层上形成所需的图形。光罩是一张透明的薄膜,上面印有电路图形,在光刻工艺中,光罩放在光阻层上,光线通过光罩照射到光阻层上,从而在光阻层上形成所需的图形。