EUV是什么

问题描述

精选答案

EUV，中文是极紫外光刻。它是光刻技术的一种。

EUV是现在最领先的光刻技术。它以波长为10~14纳米的极紫外光作为光源，可使曝光波长一下子降到13.5纳米。这一技术能够让芯片工艺扩展到32nm以下。