euv原理

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精选答案

EUV（极紫外）是一种高能量、短波长的光辐射，其波长约为13.5纳米。EUV原理基于使用激光将某种材料（如锡）蒸发成等离子体，然后通过电场加速等离子体，使其撞击到反射镜上。反射镜将EUV光线聚焦到光刻模板上，模板上的图案通过光刻机将图案投射到硅片上。EUV技术具有高分辨率、高精度和高效率的特点，被广泛应用于半导体制造领域。