冷热场发射扫描电镜的区别是什么

问题描述

精选答案

sem有冷场发射的和热场发射的，还有环扫。场发射的分辨率较高，达到1nm环扫达3¬4nm,样品室比较大，景深大，可做断口和有污染的样品，电子束流达，可信度高。还有什么不懂的的话，可以和我交流，大家共同进步。