6寸晶圆厚度

问题描述

精选答案

对集成电路来说：4寸晶圆的厚度为0.520mm,6寸晶圆的厚度为 0.670mm左右。晶圆必须要减薄，否则对划片刀的损耗很大，而且要划两刀。

我们做DIP封装，4寸晶圆要减薄到0.300mm；6寸晶圆要减薄到0.320mm左右，误差0.020mm。 量测仪器片厚用千分尺就行了，膜厚一般用热波仪器量测，通过量测不同分布的多点厚度，求平均得出膜厚，一般同时反映膜的均匀性，并可见模拟等高线。