中芯国际28nm光刻机哪来的

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精选答案

中芯国际制造28nm所需要的光刻机，也来自阿斯麦公司。但根据业界最新消息，上海微电子已经在2021年底生产28nm深紫外DUV光刻机。

解决了核心设备的问题后，中芯国际在国内配套产业的支持下，在28nm工艺的生产上摆脱美国的限制不是没有可能。