N型硅片的工艺特点

问题描述

精选答案

N型硅片对于控碳、纯度及拉晶速率要求高，因此带动热场渗透率与坩埚等材料的更换频率提升

N型硅料需求量快速提升。N型料掺杂磷元素，少子寿命要比P型高出1-2个数量级，温度系数低导致高温条件下可获得加高输出功率。N型料品质要求向电子级趋近，硅料的生产工艺要求高，需要较高致密度、较低含氧碳量、较高的纯度与破碎度。