离子注入法参杂与扩散法参杂的优缺点

问题描述

精选答案

离子注入的优点：各向异性，投射深度与剂量可精确控制；缺点：

1. 表面损伤，2.需要退火与再扩散。

扩散：优点：比较容易获得高浓度与深结深；表面损伤较小。缺点：各向同性，扩散高温时间长，造成侧向扩散，同时高温时间长对于各步掺杂的相互影响较难控制。