如何调整提高蚀刻因子

问题描述

精选答案

以增大蚀刻液中铜离子的浓度,从而增大提高蚀刻因子。

蚀刻因子: 蚀刻液在蚀刻过程中，不仅向下而且对左右各方向都产生蚀刻作用，侧蚀是不可避免的。 侧蚀宽度与蚀刻深度之比称之为蚀刻因子。 把侧蚀完全杜绝掉，目前在业内是做不到的，我们只能将其降到最低。 通常通过改变压力、速度、温度等参数来改变侧蚀量的。