非晶硅薄膜的制备
问题更新日期：2024-10-13 01:21:41
问题描述
非晶硅薄膜的制备急求答案，帮忙回答下
- 精选答案
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目前成熟的商业生产当中，非晶硅薄膜的制备是通过等离子化学气相沉积设备，通入硅烷、氢气等气体进行等离子分解反应沉积获得的
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