euv光刻是什么意思

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极紫外光刻（Extreme Ultra-violet），常称作EUV光刻，它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。具体为采用波长为13.4nm 的紫外线。极紫外线就是指需要通过通电激发紫外线管的K极然后放射出紫外线。

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简单来说EUV是UV紫外线中波段处于（10nm~100nm）的短波紫外线。而在光刻机工艺中通常定义在10 ~ 15 nm紫外线。