真空镀膜机有没有发生爆炸的

问题描述

精选答案

如果你用了有扩散泵，在抽低真空的过程中高阀没有关好，泵内漏进大量空气，泵油会发生剧烈氧化，有可能会发生爆炸，这种爆炸的冲击波轻微的会损坏真空室内的部件，严重的会将真空室门冲开，对外部的操作人员会有一定的危险性。

不过平时注意设备的保养与维护的话这种情况是不易发生的！