氦质谱检漏仪的主要技术指标

问题描述

精选答案

最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s

漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s

启动时间： ≤5min

响应时间：

检漏口最高压力： 300Pa

极限真空： 5×10-4Pa

外形尺寸： 560（W）×420（D）×300（H）

重量：46KG